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无尘洁净氮气柜特点及原理时间：2022-07-13 洁净氮气柜主要应用在半导体行业中晶圆的存放。除了氮气柜最基础的湿度控制或者含氧量控制以外，还需具备洁净过滤功能。 为了保证芯片的成品率，晶圆存放、晶圆工艺中需要保证环境在class100甚至class10的水平。 空气中有大量可见和不可见的悬浮颗粒。为了尽可能地消除这些颗粒，通常采用高效过滤装置。在普通氮气柜的基础上增加过滤循环风管。机柜内的空气吸入风道后，经过滤器过滤后返回机柜。 无尘氮气柜一般采用SUS304镜面不锈钢制作，以减少使用过程中颗粒的产生还可以选择其他功能，如报警、照明、含氧量、温湿度曲线等。
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