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无氧氮气柜和普通智能氮气柜的区别时间：2022-07-08 在半导体行业中,智能氮气柜是前段晶圆制造和后段芯片封装必不可少的设备之一，特别是晶圆存储中氧含量和湿度的控制。
智能氮气柜主要是通过湿度来控制电磁阀的开关，使用前设置氮气柜的湿度，湿度没有达到所设定湿度值则电磁阀开，氮气持续冲入，湿度达到设定值以下则电磁阀关，氮气关闭。 所以智能氮气柜的缺点就是在环境比较干燥或者氮气柜有除湿模块情况下只能冲入少量的氮气，柜内达不到真正无氧的环境，而无氧氮气柜则主要是通过氮含量来控制电磁阀的开关，晶圆的存储环境是在低湿无氧的情况下，而不是低湿。 选择普通的氮气柜还是无氧氮气柜则根据您存储产品的要求来选择。 |
