晶圆智能储存柜-RFID氮气柜系统！

　　晶圆（wafer）是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广发应用到各类电子设备当中。为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。

　　依据GB/T 14264-2009半导体材料术语，GB/T 25915.1-2010洁净室及环境要求，由于晶圆是极易氧化的，所以它对存储的环境要求是无氧环境，温度不高于25℃，需要存储在控温控湿的设备中。氮气柜运用各种除湿技术有效地降低柜内湿度，从而达到防潮、防霉、防氧化、防锈、防微量吸湿等目的。用来储存晶圆起到很好的防氧化的作用。

　　目前市场上的氮气柜软件系统功能较为基础，如光电感应、指示灯变色提示、RFID读取功能，实时显示读取到的信息。

　　优勝科技的RFID氮气柜系统除了以上功能，还可通过设定设备相关信息来实现设备各个环节历史记录的全程追溯。功能如下：

　　不同设备的实时温湿度监控以及监测一定时间内变化情况

　　查询温湿度历史记录

　　自动推送温湿度超标警报，能即时处理问题，提高管理效率

　　氮气流量数据功能可避免流量太大，导致热量补充不足，并能正确得知氮气的出量、将氮气流量做更精密的控制以节省成本

　　设定系统用户信息，为用户分配不同的权限

　　设定生产资料

　　设定机台机器人资料

　　查询机器人AGV信息、Lot信息、操作日志等

　　外部构造：

　　触摸屏用来发出操作指令，可实时显示画面内容

　　步进电机控制器控制步进电机的运动位置、扭力大小

　　步进电机用来控制氮气柜门的开关状态

　　限位开关限制电机行程

　　安全光栅确保动作时人员和设备安全

　　内部构造：

　　RFID读卡器用于读取晶圆盒RFID卡号

　　指示灯显示当前仓位RFID扫描状态，是否有物料

　　光电开关检测仓位上是否有晶圆盒

　　内部控制：

　　整合版将RFID读卡器，指示灯，蓝牙，光电开关等硬件整合控制

　　串口集线器为多设备的集成传输

　　工控主机控制氮气柜的动作、软件监控、以及与机器人小车的通信（通过WiFi无线网络）做到同步运行

　　氮气流量计用于检测氮气流量

　　工牌读卡器为用户的身份识别