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高真空烘箱
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1.降温方式:风冷+水冷降温,任何降温时间降温速率均不可大于5℃; 2.控氧系统(采用氧分析仪精准控制):高温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量 3.控温稳定度:±0.5℃; 4.温度均匀度:±1.5%℃(300℃平台,恒温15min后检测);超温控制:200℃以内≤3℃,200-300℃≤5℃; 5.控制:腔体可独控温、氧含量,通气、报警保护; 6洁净度:Class100(0.3μm颗粒增长 ≤100ea,0.5μm颗粒增长 ≤100ea,采用高效过滤器过滤气体中的颗粒杂质,过滤效果可达99.997%); 7操作界面:需要有设置OP,ENG,OEM权限(OP可查看recipe,点击启动、停止按钮,查看报警、运行记录;ENG:除OP权限外,增加修改recipe,导出作业记录功能;OEM:除ENG权限外增加手动控制各单元按钮); 7设备运行记录可用USB端口导出excel格式记录(需显示开始、结束事件,烘烤程序名称,运行过程氧含量状况等记录),记录可保存至少15天;作业记录界面同样也可显示以上信息; |